发明名称 半导体元件测试器之客碟移转装置
摘要 本发明为一半导体元件测试器之客碟移转装置,用来将载入装载除卸器部分之堆叠架的上面或下面部分之客碟移送到该装载除卸器部分之台阶上,包含:一个可选择性装载或除卸客碟的装载除卸器部分;一个位于装载除卸器部分下方的堆叠架,用来存放许多客碟;一个夹取装置,用来夹取客碟并将之与堆叠架分开,其方法是在装载除卸器部分和堆叠架之间水平移动并选择性移向客碟的上表面;一个移位盘,在夹取装置将客碟取出并水平移动而远离堆叠架后,用来将客碟自装载除卸器部分上移。
申请公布号 TW326560 申请公布日期 1998.02.11
申请号 TW085102479 申请日期 1996.03.01
申请人 麦瑞公司 发明人 朴宇烈
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 林志诚 台北巿南京东路三段一○三号十楼
主权项 1.一种半导体元件测试器之客碟移转装置,具缩小体积及增加效率之特性,包含:一个装载器部分,可选择性装载客碟;一个设于前述装载器部分下方之堆叠架,可存放许多客碟;一个夹取装置,用来夹取客碟并利用在前述装载器部分和前述堆叠架之间水平移动而将前述客碟与前述堆叠架分开,并可选择性移向前述客碟的上表面;以及一个移位盘,承接被该夹取装置隔开的客碟,以及当该夹取装置在水平移动而与该堆叠架分离时,将该客碟上升到该装载器部分。2.依据申请专利范围第1项之半导体元件测试器之客碟移转装置,其中前述夹取装置包含:一个客碟夹取面板,由一滑杆导引而水平移动,并由一圆柱驱动而上升或下降;一组扣钩装置,可旋转且露出于前述客碟夹取面板的下方,用来固定前述客碟之两侧;以及扣钩旋转装置,安装于前述客碟的上方,用来转动扣钩。3.依据申请专利范围第2项之半导体元件测试器之客碟移转装置,其中前述扣钩旋转装置包含:一个滑杆,与固定于前述客碟夹取面板上部的线性马达导引器耦合,并可沿着前述线性马达导引器水平移动;一个第二圆柱,固定于前述客碟夹取面板上部,用来移动前述滑杆;一个第一连杆,连接前述滑杆两端,并与前述滑杆一同往返移动;以及一个第二连杆,其一端与前述第一连杆铰合且另一端固定于前述扣钩上,当前述滑杆由前述第二圆柱的驱动而沿着线性马达导引器移动时该叩钩会跟着转动。4.依据申请专利范围第3项之半导体元件测试器之客碟移转装置,其中前述客碟夹取面板和前述第一连杆之间有一弹性组件相连。5.依据申请专利范围第2项之半导体元件测试器之客碟移转装置,其中包含许多定位针,在前述客碟被置于前述客碟夹取面板底面时将前述客碟定位。6.一种半导体元件测试器之客碟移转装置,具缩小体积及增加效率之特性,包含:一个装载除卸器部分,可选择性装载客碟;一个设于前述装载除卸器部分下方之堆叠架,可存放许多客碟;一个夹取装置,用来夹取客碟并利用在前述装载除卸器部分和前述堆叠架之间水平移动而将前述客碟与前述堆叠架分开,并可选择性移向前述客碟的上表面;一个移位盘,承接被该夹取装置隔开的客碟,以及当该夹取装置在水平移动而与该堆叠架分离时,将该客碟上升到该装载除卸器部分;另一移位盘,当该装载除卸器部分的工作完程后,向下移动该客碟;以及另一夹取装置,在夹取另一移位盘中的该客碟,以及接近该堆叠架以装载该客碟之后,随着该另一移位盘被移动一非干涉位置,而水平方向离开该堆叠架。图示简单说明:第一图是本发明的平面图;第二图是本发明的侧面图,用来解释操作原理;第三图是沿着第二图中A-A线的剖面图。
地址 韩国