发明名称 |
A SILICON SUBSTRATE HAVING A RECESS FOR RECEIVING AN ELEMENT, AND A METHOD OF PRODUCING SUCH A RECESS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0823063(A1) |
申请公布日期 |
1998.02.11 |
申请号 |
EP19960912374 |
申请日期 |
1996.04.23 |
申请人 |
TELEFONAKTIEBOLAGET L M ERICSSON (PUBL) |
发明人 |
BAECKLUND, YLVA |
分类号 |
G02B6/24;G02B6/36;(IPC1-7):G02B6/36 |
主分类号 |
G02B6/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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