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发明名称 ROTATING SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH1036965(A) 申请公布日期 1998.02.10
申请号 JP19960196105 申请日期 1996.07.25
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 IWAMI MUNENORI
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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