| 发明名称 |
VAPOR-PHASE GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1036200(A) |
申请公布日期 |
1998.02.10 |
| 申请号 |
JP19960196368 |
申请日期 |
1996.07.25 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
KOMURA YUKIO;TOYOSAKI KOICHI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/455;C30B35/00;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C30B35/00 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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