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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1036967(A) 申请公布日期 1998.02.10
申请号 JP19960194666 申请日期 1996.07.24
申请人 TEIJIN LTD 发明人 KURIYAMA YASUHIKO;TAMURA YUUJI
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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