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发明名称 Schraubenkolben-Vakuumpumpe
摘要
申请公布号 DE69221415(T2) 申请公布日期 1998.02.05
申请号 DE19926021415T 申请日期 1992.09.24
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YANAGISAWA, KIYOSHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 F04C18/16;F01C1/16;F04C25/02;F04C28/28;F04C29/12;(IPC1-7):F04C29/08 主分类号 F04C18/16
代理机构 代理人
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