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发明名称
Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats
摘要
申请公布号
DE59108911(D1)
申请公布日期
1998.02.05
申请号
DE19915008911
申请日期
1991.10.28
申请人
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE
发明人
LATZ, RUDOLF, DR., W-6054 RODGAU 2, DE
分类号
H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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