发明名称 Gesteuerte Cryopumpenregenerationsdrücke
摘要
申请公布号 DE19581902(T1) 申请公布日期 1998.02.05
申请号 DE1995181902T 申请日期 1995.12.21
申请人 HELIX TECHNOLOGY CORP., MANSFIELD, MASS., US 发明人 ANDEEN, BRUCE R., BOXBOROUGH, MASSACHUSETTS, US;FORTIER, GERALD J., PLAINVILLE, MASSACHUSETTS, US;BARTLETT, ALLEN J., MILFORD, MASSACHUSETTS, US;EACOBACCI, MICHAEL J., WEYMOUTH, MASSACHUSETTS, US;LESSARD, PHILIP C., BOXBOROUGH, MASSACHUSETTS, US
分类号 F04B37/08;F04B37/16;(IPC1-7):F04B49/22 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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