发明名称 Ausbildung und Entfernung von Polysilizium-LDD-Spacern
摘要
申请公布号 DE69030934(T2) 申请公布日期 1998.02.05
申请号 DE19906030934T 申请日期 1990.04.26
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC., SUNNYVALE, CALIF., US 发明人 SHEN, LEWIS N., CUPERTINO, CALIFORNIA 95014, US;HADJIZADEH-AMINI, ZAHRA, CUPERTINO, CALIFORNIA 95014, US;HSU, JAMES JUEN, SARATOGA, CALIFORNIA 95070, US
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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