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发明名称 Optisches Nahfeldabtastmikroskop
摘要
申请公布号 DE69223789(D1) 申请公布日期 1998.02.05
申请号 DE1992623789 申请日期 1992.10.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 COURJON, DANIEL, DR., URA 214 CNRS, F-25030 BESANCON CEDEX, CH;POHL, WOLFGANG DIETER, DR., CH-8134 ADLISWIL, CH
分类号 G01B11/30;G01N37/00;G01Q30/12;G01Q60/18;G01Q60/20;G01Q60/22;G02B21/00;G11B7/12;(IPC1-7):G02B21/00;G02B6/28;G11B11/00;G11B9/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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