电容性绝对压力传感器及其制造方法

摘要

电容性绝对压力传感器(10)包括其上沉积有电极(24)的衬底(14)和设置于衬底(14)上的隔膜组件(12)。随着压力的增大,隔膜(16)偏移,接触电极(24)(按触摸模式),并改变传感器(10)的电容量。检测变化的电容以测出压力变化。用埋入的引线测出隔膜(76)下面的腔(34)中的电容变化,由此确定测出的压力。适当选择检测电极和绝缘层(32)的厚度,对其进行热循环,并使隔膜组件(12)密封粘接到衬底(14),以保持腔(34)中的真空。

主权项

1.电容性压力传感器，包括：衬底，它有(1)设置于其上的电极，(2)由电极跨越的第1和第2部分，(3)只在第1部分中的电极上设置的绝缘层；衬底上的隔膜组件，包括框架结构和确定第1部分的分割壁，其上设置有隔膜，和第2开口区；和设置于衬底上的第1和第2区，使(1)衬底的第1部分对准第1区和隔膜，因此，隔膜，衬底，分割壁和相应的框架结构确定第1区，构成一个抽空的腔；(2)衬底的第2部分与第2开口区对准，以便于连接电极；分割壁通常分隔第1和第2区，并接触第1部分中电极上的绝缘层；绝缘层和电极有预定厚度，绝缘层在电极周围变形，以密封和保持抽空的腔内的真空状态。