| 发明名称 |
METHOD OF IMPROVED PLASMA TREATMENT AT LOW TEMPERATURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5273679(A) |
申请公布日期 |
1977.06.20 |
| 申请号 |
JP19750149566 |
申请日期 |
1975.12.17 |
| 申请人 |
TOUKIYOU OUKA KOUGIYOU KK |
发明人 |
UEHARA AKIRA;NAKANE HISASHI |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
