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发明名称
摘要
申请公布号
JP2707850(B2)
申请公布日期
1998.02.04
申请号
JP19910025024
申请日期
1991.01.28
申请人
发明人
分类号
H01L43/08;G01D5/245;(IPC1-7):H01L43/08
主分类号
H01L43/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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