发明名称 Plasma-CVD method and apparatus
摘要
申请公布号 EP0653501(B1) 申请公布日期 1998.02.04
申请号 EP19940117782 申请日期 1994.11.10
申请人 NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED 发明人 NAKAHIGASHI, TAKAHIRO;MURAKAMI, HIROSHI;OTANI, SATOSHI;TABATA, TAKAO;MAEDA, HIROSHI;KIRIMURA, HIROYA;KUWAHARA, HAJIME
分类号 C23C16/40;C23C16/515;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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