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发明名称 SPUTTERING DEVICE AND METHOD FOR WORKING BACKING PLATE USED FOR THE SAME DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1030174(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960187674 申请日期 1996.07.17
申请人 ADVANCED DISPLAY:KK 发明人 SAKATA TOSHIYA
分类号 C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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