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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1032231(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960261299 申请日期 1996.09.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TANAKA HIDEAKI;MARUMO YOSHITO
分类号 G01R31/26;G01R31/00;G06F3/14;G09G5/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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