| 发明名称 |
PROBE CARD WITH PARALLELISM REGULATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1031034(A) |
申请公布日期 |
1998.02.03 |
| 申请号 |
JP19960187444 |
申请日期 |
1996.07.17 |
| 申请人 |
DENKI KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
AMAMIYA MASARU;NAKASAKI NORIAKI;KATO KAZUO |
| 分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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