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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1030185(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960187212 申请日期 1996.07.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIDA TOSHIMICHI;YAMADA YUICHIRO;TAKIZAWA TAKAHIRO;TANABE HIROSHI
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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