发明名称 GAS SUPPLYING APPARATUS AND FACILITY FOR GAS-PHASE GROWTH
摘要
申请公布号 JPH1028855(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960202959 申请日期 1996.07.12
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 KUROSAWA YASUSHI;OGURO AKIJI;OTA YUTAKA;OKUBO YUJI
分类号 B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/00 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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