发明名称 |
GAS SUPPLYING APPARATUS AND FACILITY FOR GAS-PHASE GROWTH |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1028855(A) |
申请公布日期 |
1998.02.03 |
申请号 |
JP19960202959 |
申请日期 |
1996.07.12 |
申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
KUROSAWA YASUSHI;OGURO AKIJI;OTA YUTAKA;OKUBO YUJI |
分类号 |
B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/00 |
主分类号 |
B01J4/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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