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发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE WITH AUTOMATIC FOCUSING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH1031969(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960185166 申请日期 1996.07.15
申请人 NIKON CORP 发明人 HIROSE HIROSHI
分类号 H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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