发明名称 ELECTROSTATIC ACTUATOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1032987(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960205369 申请日期 1996.07.16
申请人 KASEI OPTONIX CO LTD;MITSUBISHI CHEM CORP 发明人 SAKAI REI;FUKUYAMA HISASHI;KONNO SHINJI
分类号 G09F13/00;G09F19/02;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 G09F13/00
代理机构 代理人
主权项
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