| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE USING CHEMICAL VAPOR PRECIPITATION METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1032173(A) |
申请公布日期 |
1998.02.03 |
| 申请号 |
JP19970025856 |
申请日期 |
1997.01.24 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
RUPP ROLAND DR;VOELKL JOHANNES DR |
| 分类号 |
C30B29/36;C01B31/36;C23C16/32;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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