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经营范围
发明名称
SURFACE FLATTENING METHOD
摘要
申请公布号
JPH1032197(A)
申请公布日期
1998.02.03
申请号
JP19960184437
申请日期
1996.07.15
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YOSHIE TORU
分类号
H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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