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发明名称 FILM FORMATION PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH1032170(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960203252 申请日期 1996.07.12
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HAGINO ISAO;SHIBATA TOSHIMITSU
分类号 C23C16/44;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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