发明名称 LAYOUT VERIFICATION DEVICE FOR MASK PATTERN DATA
摘要
申请公布号 JPH1031691(A) 申请公布日期 1998.02.03
申请号 JP19960187641 申请日期 1996.07.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKEI TOMOKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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