| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF LIGHT ABSORPTION DISTRIBUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1030997(A) |
申请公布日期 |
1998.02.03 |
| 申请号 |
JP19960187381 |
申请日期 |
1996.07.17 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SUGIMURA HIROYUKI;NAKAGIRI NOBUYUKI;YAMAMOTO TAKUMA |
| 分类号 |
G01J3/42;G01J5/48;G01N21/00;G01N25/20;G01Q60/24;G01Q60/58;(IPC1-7):G01N25/20 |
主分类号 |
G01J3/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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