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发明名称 Wafer container
摘要
申请公布号 GB2315260(A) 申请公布日期 1998.01.28
申请号 GB19970014701 申请日期 1997.07.11
申请人 * FLOUROWARE, INC 发明人 DAVID L * NYSETH
分类号 B65D85/86;E21B7/00;E21B11/00;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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