半导体加速度传感器

摘要

采用化学蚀刻加工方法,以形成具有扩散电阻的薄壁部分的半导体加速度传感器,扩散电阻用来检测位移造成的电阻阻值变化,在切割刮刀上利用电蚀现象和切割磨料颗粒的电泳现象,以消除加工蜕化或微裂缝问题。

主权项

1.一种制造具有半导体加速度传感器的半导体器件的方法，其特征在于它包括以下步骤：在半导体衬底上形成扩散电阻，用机械切割方法减薄具有扩散电阻的所述半导体衬底的背面，形成具有所述半导体衬底的扩散电阻的元件区，形成用来固定所述元件端部的支持体，以及在用机械切割方法减薄所述半导体衬底扩散电阻的背面过程中，在所述机械切割过程中，把电蚀应用于切割刮刀和使磨料颗粒带电。