借助低温液面下强制水蒸汽蒸馏法分离可溶可熔酚醛树脂

摘要

水不溶性、含水碱溶性可溶可熔酚醛树脂,该树脂的制备方法,含有该树脂的光刻胶以及制备半导体装置的方法,其中该树脂通过液面下强制水蒸汽蒸馏法得到分离。

主权项

1.一种制备水不溶性、含水碱溶性可溶可熔酚醛树脂的方法，其中包括在酸性催化剂存在下在适宜的有机反应溶剂中使一种或多种甲基酚与醛缩合，在100-160℃采用强制水蒸汽蒸馏法蒸馏所述可溶可熔酚醛树脂从而分离所述可溶可熔酚醛树脂。