真空系统用石英活性气体发生装置

摘要

本实用新型提供一种新型的适用于超高真空用的用石英材料制作的气态活性原子、分子发生装置。它是将经过减压后工作气体通过真空漏阀输入到石英反应腔。在反应腔,气体与射频电场耦合产生的活性原子的分子的复合体通过泻流孔泄放至超高真空系统。该装置的等离子体发生反应腔使用高纯石英材料制成。石英结构同时起到等离子体反应腔、真空腔密封、气路以及支撑的作用,既简化了等离子体发生器结构,又降低了制备成本。

主权项

1.一种真空系统用石英活性气体发生装置，包括等离子体发生部分、接口及气路，其特征在于：a.由减压阀2一端连接气源1，另一端通过气路3顺序连结角阀7和漏阀8；真空漏阀8通过波纹管9联接石英管状反应腔4，石英管状反应腔4的另一端面烧结有凹形泻流孔12；石英管状反应腔4通过接口与超高真空系统13相联结；b.石英管状反应腔4与超高真空系统13的连接接口密封结构由氟橡胶圈14被不锈钢套15与法兰16的劈状挤压块及石英管状反应腔侧面三者挤压后构成；c.在石英管状反应腔4两端分别与不锈钢气路及超高真空系统的连接处设有水冷套10和11，水冷套10、11与石英管状反应腔4之间的间隙中填有金属铟；d.在石英管状反应腔4的外部耦合有射频辐射线圈5，射频辐射线圈5用空心铜质材料做成，线圈导线用水冷却，射频辐射线圈5用氟塑料支柱6支撑于机架上，保持与石英管状反应腔4之间无接触。