Controlling travelling carrier system,申请号GB19970014976-传众专利搜索

发明名称	Controlling travelling carrier system
摘要
申请公布号	GB2315252(A)	申请公布日期	1998.01.28
申请号	GB19970014976	申请日期	1997.07.16
申请人	* NEC CORPORATION	发明人	DAISUKE * SAITO
分类号	B66F7/06;B61B3/00;B66C11/12;B66C13/06;H01L21/677;(IPC1-7):B61B3/00	主分类号	B66F7/06
代理机构		代理人
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