SCANNING EXPOSURE METHOD AND MANUFACTURE OF DEVICE THEREBY,申请号JP19960179083-传众专利搜索

发明名称	SCANNING EXPOSURE METHOD AND MANUFACTURE OF DEVICE THEREBY
摘要
申请公布号	JPH1027738(A)	申请公布日期	1998.01.27
申请号	JP19960179083	申请日期	1996.07.09
申请人	CANON INC	发明人	SAKAI FUMIO
分类号	G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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