| 发明名称 |
PROJECTION ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND ABERRATION CORRECTING OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1027743(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960182044 |
申请日期 |
1996.07.11 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAHASHI KAZUHIRO;SHINONAGA HIROHIKO |
| 分类号 |
G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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