| 发明名称 |
DETECTING METHOD OF ETCHING END POINT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1027777(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960178936 |
申请日期 |
1996.07.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UCHIYAMA HIROYUKI;IMAMURA YOSHINORI |
| 分类号 |
G01N21/62;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01N21/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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