| 发明名称 |
PARTICLE-OPTICAL INSTRUMENT COMPRISING A DEFLECTION UNIT FOR SECONDARY ELECTRONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0699341(B1) |
申请公布日期 |
1998.01.28 |
| 申请号 |
EP19950909084 |
申请日期 |
1995.03.07 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
TROOST, KARS, ZEGER;HENSTRA, ALEXANDER |
| 分类号 |
H01J37/147;G01Q60/40;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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