| 发明名称 |
METHOD OF PREVENTING SOLID MATERIAL FROM ADHERING TO WASTE GAS FLOW PATH OF CVD SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1027790(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960182541 |
申请日期 |
1996.07.11 |
| 申请人 |
NITTETSU SEMICONDUCTOR KK |
发明人 |
SATO KATSUYUKI |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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