| 发明名称 |
CLEANING METHOD OF RESIST PIPING OF RESIST COATING DEVICE AND ITS JIG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1027739(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960179711 |
申请日期 |
1996.07.10 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMAUCHI TOSHIKAZU |
| 分类号 |
B08B3/02;B05C21/00;B05D3/10;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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