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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1027755(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960180422 申请日期 1996.07.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ANDO KOJI
分类号 C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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