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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1027906(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960198444 申请日期 1996.07.09
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TOGAMI TERUTOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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