发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND INTEGRATED CIRCUIT THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1027806(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960183082 申请日期 1996.07.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 MASUDA HIROSHI;TAGAMI TOMONORI;MOCHIZUKI KAZUHIRO;OKA TORU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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