| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING THIN FILM UNDER VACUUM AND METHOD FOR MANUFACTURING REFLECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1026698(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960183099 |
申请日期 |
1996.07.12 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
OSHINO TETSUYA;KATAKURA NORIHIRO;MURAKAMI KATSUHIKO |
| 分类号 |
G21K1/06;C03C17/245;C23C14/24;G02B5/08;H01L21/203;(IPC1-7):G21K1/06 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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