发明名称 MELTING BY THREE-PHASE CURRENT HEATING OF POLYCRYSTALLINE RAW MATERIAL FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1025190(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960201204 申请日期 1996.07.11
申请人 SUPER SILICON KENKYUSHO:KK 发明人 MACHIDA TSUNEHISA;YAMAGISHI HIROTOSHI;KURAMOTO MAKOTO;SHIRAISHI YUTAKA;TAKANO KIYOTAKA;TAKASE NOBUMITSU;IIDA AKIHIRO;MATSUBARA JUNICHI
分类号 C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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