发明名称 |
MELTING BY THREE-PHASE CURRENT HEATING OF POLYCRYSTALLINE RAW MATERIAL FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1025190(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
申请号 |
JP19960201204 |
申请日期 |
1996.07.11 |
申请人 |
SUPER SILICON KENKYUSHO:KK |
发明人 |
MACHIDA TSUNEHISA;YAMAGISHI HIROTOSHI;KURAMOTO MAKOTO;SHIRAISHI YUTAKA;TAKANO KIYOTAKA;TAKASE NOBUMITSU;IIDA AKIHIRO;MATSUBARA JUNICHI |
分类号 |
C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 |
主分类号 |
C30B15/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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