发明名称 INTEGRATED SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1027847(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960178829 申请日期 1996.07.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIOKA YASUTAKA;YAMAKAWA SATOSHI;KANEMOTO KYOZO;ABE YUJI;TOKUDA YASUKI;SUGAHARA KAZUYUKI;OMORI TATSUO;YASUMURA KENJI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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