| 发明名称 |
MANUFACTURE OF ELECTRONIC COMPONENT AND ELECTRONIC COMPONENT MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1027830(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960180342 |
申请日期 |
1996.07.10 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ONIZUKA YASUTO |
| 分类号 |
H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
