| 发明名称 |
PRODUCTION OF DIELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1025573(A) |
申请公布日期 |
1998.01.27 |
| 申请号 |
JP19960179097 |
申请日期 |
1996.07.09 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
MASUDA YOSHIYUKI;KITA RYUSUKE;MATSU YOSHIYUKI;OTANI NOBORU;YANO MORICHIKA |
| 分类号 |
C23C14/40;(IPC1-7):C23C14/40 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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