发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1027794(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960181808 申请日期 1996.07.11
申请人 NEC CORP 发明人 MOGAMI TORU
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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