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发明名称
摘要
申请公布号	JP2704619(B2)	申请公布日期	1998.01.26
申请号	JP19870267615	申请日期	1987.10.22
申请人		发明人
分类号	G03C1/72;G03C1/74;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/20;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/022	主分类号	G03C1/72
代理机构		代理人
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