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发明名称
IC DISPOSAL DEVICE IN FLIP CHIP MOUNTING FACILITY
摘要
申请公布号
JPH1022332(A)
申请公布日期
1998.01.23
申请号
JP19960174041
申请日期
1996.07.04
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KIYOMURA HIROYUKI;KANAYAMA SHINJI;MATSUMURA SHINYA;NISHINO KENICHI;TAKAHASHI KENJI;KAINO NAOMI
分类号
H01L21/60;H05K13/04;H05K13/08;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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