发明名称 |
CAPACITANCE DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1022457(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
申请号 |
JP19960174013 |
申请日期 |
1996.07.03 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKU YUUKI;ISHIKAWA TAKAHIDE |
分类号 |
H01G4/33;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/94;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01G4/33 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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