发明名称 MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1022558(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960174501 申请日期 1996.07.04
申请人 NEC CORP 发明人 MUKOHARA KAZUMASA
分类号 H01S3/1055;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/105;H01S3/18 主分类号 H01S3/1055
代理机构 代理人
主权项
地址